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SEMI（半導體設(shè)備與材料的國際性組織）是半導體T業(yè)的全球執(zhí)行聯(lián)盟，SEMI之下的安全工作小組為了降低機械危害的風險，制定了一套適用于半導及顯示器材料和制造設(shè)備的全球性標準和法規(guī)，適用于所有用于芯片制造、量測、組裝和測試的設(shè)備，成為半導體業(yè)界對設(shè)備系統(tǒng)的必備的規(guī)格要求。
SEMI S2認證和道守法規(guī)的途徑：對于制造商而言，SEMI安全的核心是S2，即《半導體制造設(shè)備的環(huán)境，健康和安全指南》實際上，其他產(chǎn)品安全準則可以視為支持S2。面向職業(yè)健康和安全的指南通常與制造商無關(guān)。
SEMI S2認證指南是由SEMI行業(yè)的領(lǐng)導者制定的，以確保每臺設(shè)備都符合法規(guī)要求，并經(jīng)過嚴格的安全標準檢查。主要包括消防，電氣危險防護，減輕機械危險，化學，輻射，噪聲和人體工程學危險，通風要求，緊急停機程序，排氣規(guī)格，危險警告警報和標簽，文件要求等。
S2評估通常是買家作為保障的要求，并且可以作為出售的條件。
SEMI常見安全標準：
SEMI標準中有材料（M系列）、設(shè)備（F系列）、平板顯示器（D系列）（跟蹤性（T系列）等，其中S系列規(guī)定了環(huán)境健康安全（EHS）的要求。
SEMI S1裝置安全標簽 Safety Guideline for Visual Hazard Alerts
SEMI S2 半導體生產(chǎn)裝置的環(huán)境、健康、安全Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S3熱化學槽的安全性 Safety Guidelines for Heated Chemical Baths
SEMI S4櫥柜收納高壓氣筒的隔離/分離Safety Guideline for the Segregation/Separation of Gas Cylinders Contained in Cabinets
SEMI S5 流量限制設(shè)備Safety Guideline for Flow Limiting Devices
SEMI S6 換氣Safety Guideline for Ventilation
SEMI S7 半導體生產(chǎn)裝置的環(huán)境、健康、及安全性（ESH）評價Safety Guidelines for Environmental.Safety and Health Evaluation of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S8 半導體生產(chǎn)裝置的人機工程學Safety Guidelines for Ergonomics/Human Factors Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S9 半導體生產(chǎn)裝置的電氣設(shè)計驗證試驗Electrical Test Methods for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S10 風險核查Safety Guideline for Risk Assessment
SEMI S11 半導體生產(chǎn)裝置的小環(huán)境的環(huán)境、安全性及健康Environmental，Safety，and Health Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment Minienvironments
SEMI S12 裝置的去污Guidelines for Equipment Decontamination
SEMI S13 半導體生產(chǎn)裝置的操作及維護手冊Safety Guidelines for Operation and Maintenance Manuals Used with Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S14 對半導體生產(chǎn)裝置的火災(zāi)風險評估和降低Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S15 有毒及易燃氣體的檢測系統(tǒng)評價Safety Guidelines for the Evaluation of Toxic and Flamm able Gas Detection Systems
SEMI F47 電壓瞬變能力規(guī)范 Voltage Sag Standard
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